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旋转空气轴承和机动空气轴承旋转级
发表于08/07/2019.
旋转空气轴承提供高精度运动,具有最小的偏心和摆动。左侧的旋转空气轴承是非机动的 - 从它保持旋转的长时间,它的低摩擦力是显而易见的。右侧较小的A-623旋转空气轴承级配有扭矩电机和高分辨率编码器(0.024μrad)。它由PI / ACS运动控制器驱动。
发表于08/07/2019.
旋转空气轴承提供高精度运动,具有最小的偏心和摆动。左侧的旋转空气轴承是非机动的 - 从它保持旋转的长时间,它的低摩擦力是显而易见的。右侧较小的A-623旋转空气轴承级配有扭矩电机和高分辨率编码器(0.024μrad)。它由PI / ACS运动控制器驱动。