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磁悬浮平台如何提供纳米级的精确运动?
发布06/07/2019
磁悬浮平台提供类似空气轴承定位器的精密运动性能,但有额外的优势。PIMag 6D是一种多轴纳米定位的设计概念,适用于要求最高精度的应用,例如在半导体加工和检测系统中。这种新型的精密定位系统是基于磁悬浮的:完全被动的平台悬浮在磁场上,主动定位并引导平台。
发布06/07/2019
磁悬浮平台提供类似空气轴承定位器的精密运动性能,但有额外的优势。PIMag 6D是一种多轴纳米定位的设计概念,适用于要求最高精度的应用,例如在半导体加工和检测系统中。这种新型的精密定位系统是基于磁悬浮的:完全被动的平台悬浮在磁场上,主动定位并引导平台。