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FMPA主动定位系统:6-DOF高速硅光子对准硬件和软件
发表于06/07/2019.
FMPA(快速多通道光子对准)设计基于高度专业化的数字运动控制器(E-712)和混合对准机构,以实现所需的长行程范围而不牺牲稳定性,分辨率或对准速度。|PI(Physik Instrumente)
发表于06/07/2019.
FMPA(快速多通道光子对准)设计基于高度专业化的数字运动控制器(E-712)和混合对准机构,以实现所需的长行程范围而不牺牲稳定性,分辨率或对准速度。|PI(Physik Instrumente)