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空气轴承他们如何工作?示例XY空气轴承阶段:鸽子HS www.pi.ws
发表于06/11/2019.
空气轴承:他们如何工作?空气轴承提供非常光滑和准确的运动。它们可用于线性和旋转运动系统。具有最高运动保真度的XY级基于线性电机驱动的平面空气轴承设计。空气轴承阶段提供极其直的XY运动。空气轴承级使用晶圆检测和划线应用,以及其他超精密运动应用,如平板检查。
发表于06/11/2019.
空气轴承:他们如何工作?空气轴承提供非常光滑和准确的运动。它们可用于线性和旋转运动系统。具有最高运动保真度的XY级基于线性电机驱动的平面空气轴承设计。空气轴承阶段提供极其直的XY运动。空气轴承级使用晶圆检测和划线应用,以及其他超精密运动应用,如平板检查。