视频
空气轴承如何工作?示例XY空气轴承阶段:PIglide HS
发布06/07/2019
空气轴承:它们如何工作?空气轴承提供非常平稳和准确的运动。它们可以用于线性和旋转运动系统。xy级运动保真度最高,基于平面空气轴承设计,由直线电机驱动。空气轴承阶段提供非常直和平坦的XY运动。空气轴承工作台用于晶圆检测和划线应用,以及其他超精密运动应用,如平板检测。
发布06/07/2019
空气轴承:它们如何工作?空气轴承提供非常平稳和准确的运动。它们可以用于线性和旋转运动系统。xy级运动保真度最高,基于平面空气轴承设计,由直线电机驱动。空气轴承阶段提供非常直和平坦的XY运动。空气轴承工作台用于晶圆检测和划线应用,以及其他超精密运动应用,如平板检测。