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6D非接触面计量对于具有6轴六角形并联机器人运动系统的非球面光学器件
发表于06/07/2019.
PI的6轴六角形并联机器人精密定位系统可以帮助加速非球面的测量。测试非球面的精度对于制造商来说,当需要测量纳米范围的偏差并且需要高通量时,这可能是制造商的主要挑战。这里显示的系统,基于由Metrology专家MAHR设计的新的干涉仪,使用PI的6轴六角形运动和定位系统。
发表于06/07/2019.
PI的6轴六角形并联机器人精密定位系统可以帮助加速非球面的测量。测试非球面的精度对于制造商来说,当需要测量纳米范围的偏差并且需要高通量时,这可能是制造商的主要挑战。这里显示的系统,基于由Metrology专家MAHR设计的新的干涉仪,使用PI的6轴六角形运动和定位系统。