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PI是精密运动控制自动化系统、六轴并行机器人级、航空运动系统、甘特林系统、3D打印、激光机械化和派电纳米定位解决方案的主要制造者应用包括光学技术、半导体技术、医学工程、汇编、检验、材料处理和生物纳米技术PI开发并定制精度产品并配有双电磁

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ietize电机和电动动能增强关键行业的进展依赖超精度运动控制

OSTED0314/2023

ietize电机和电动动能增强关键行业的进展依赖超精度运动控制

运动系统工程师和研究人员依赖精定位系统,数十年来使用球轮驱动随着时间的推移,这些系统逐步改善,为长距离定位重负载提供多项优势,多轴机中心运作良好此外,电机小型化提高有助于创建适合小脚运动控制应用的小定位系统然而,当涉及到光学学、半导体和生物/纳米技术等领域最难应用时,传统方法往往不尽人意。为了满足光子对齐、超分辨率显微镜和半导体相关进程等新应用需求,需要更敏捷响应运动控制系统,制造商不得不比以往更深入探索以跟上速度

纳米计精确运动生成Pietower效果

电电效果:电荷应用于电电材料引起人工变化可使用此修改生成力和运动
PZT单元细胞左侧:Perovskite型铅zirconatetate单元细胞PZT比Curie温度高对称立方状态
右侧:台式曲折单元库里温度下

数十年来,以电动为基础的精密机制因其超常能力实现子辐射计解决运动而得到承认,尽管短运动范围过强然而,最近派索陶器和电机设计进展以及控制技术成功解决了平衡距离精度的挑战其结果,用户现在可以从提供长距离的分片精密运动定位系统中选择,同时选择极快速度动态学、高强度输出学、紧凑性学、无野性学和异乎寻常停机定点稳定学探索一些运动控制应用驱动开发这些破解技术

陶器(非电磁)电机可用于半导体、SEM显微镜学和医学应用

电磁驱动机制可用于定位和对齐系统,外部磁场免用,例如在e-Bem平面图和SEM中,但屏蔽或定位成本超出动作范围则是一种劣势。相形之下,无田式陶瓷电机小得多,可放置在这些机器内任何地方而不产生不良效果以电效为基础的运动解决方案多年来优化半导体制造和生物技术研究的好处也可以推广到医疗技术上。Piezo电传感器已用于医疗技术应用,如微泵、超声波成像、纳米拆解阀门和眼皮激光波束控制外科

成像应用中,如三维显微镜学、MRI系统光一致性托马斯电动纳米定位器和机制提供优势,因为它们高效率、直接动作线性运动、高分辨率、快速响应和非磁性特征

高精度运动纳米分量解析对扫描显微镜至关重要

药物发现应用快速分析大量样本对成功至关重要荧光成像技术常用,需要精确聚焦多井板小量液


声波驱动目标纳米聚焦阶段	A级弹性驱动目标纳米聚焦阶段.最新闭环模型向800微米提供运动

传统电机或声音焦电机驱动器可提供远程井到井定位所需的速度和精度,无摩擦派弹性引导目标聚焦阶段极性响应和纳米精确聚焦响应时间允许快速获取数据,同时尽量减少长期接触造成的照片漂白

近场扫描显微镜还要求运动控制速度和分辨率相似小样本扫描从100微米到500500微米不等,用纳米平面解析法最能通过使用弹性引导纳米定位级压电驱动实现最新设计使用并行皮肤运动原理,所有启动者在一个移动中心平台上活动,大大减少惯性并改进动态电容测量器整合到级多轴运动对常用固定引用提供无浮动定位纳米直达性,用传统设计或堆叠多轴级设计无法实现性能

视频:pizo阶段原理AFMSNOM显微镜

原子力显微镜中,实现优表度结果需要XY扫描级的纳米非平面运动传统轴承不足以实现这一目的,甚至许多弹性设计都存在机械限制,无法满足需求。通过使用六度主动控制轨迹补偿离轴误差,可实现子中位OOPM提升对下一代半导体开发至关重要,该半导体开发严重依赖材料测试和精确AFM数据

6度自由闭合采样定位级基于并行皮肤弹性设计和容积定位反馈图片PI

紧凑六度闭合定位采样级并配并行皮肤弹性设计及AFM应用电容定位反馈。 XYZ运动范围为12m和定位分辨率<0.1Nm.3旋转度自由主要用于报错补偿

长距离运动距离加内分辨和极高动态

现代工业生产和测试速度和效率是关键因素高速度解析是降低测试时间并增加吞吐量并降低生产成本的最关键因素之一。磁盘驱动头部/媒体计量应用,例如需要次长计精确步数执行并定位到毫秒内纳米容度传统弹性定位系统限于旅行范围,通常低于一毫米由电磁电流/驱动系统实现长距离运动并用纳米分辨率短距离扫描由pizo-fle