技术论文
白纸-自动机摄影对齐
OSTED11/08/2023
白纸探索光子应用扩展和增强SiPh制作面临的挑战,将光子卷探器精度要求与传统卷探器比较探索主动对齐技术 精确定位信号带元素 自动化 高级算法 快速机械论文讨论不同的主动对齐过程,包括面积扫描、梯度搜索和对漂移引起定位变化的补偿模块化对齐系统、机械承接级和ACS运动控制驱动模块等设计满足各种需求的一系列机制、通道平台、六叉杆机制、模块化对齐系统此外,它简要提及SiPh以外的对齐应用,如自由空间光通信和精密光学多链对齐
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