科技论文
新型放大器设计提高了位置稳定性
发布12/18/2018
一种新的驱动机架,XR3,最近发布与Aerotech行业领先的A3200基于软件的机器控制器。XR3包括完全重新设计的放大器:XSP3,一个脉宽调制(PWM)放大器,和XSL3,一个线性放大器。
图1. Aerotech XR3 3U,19“驱动架。
性能测试
两个放大器都是在Aerotech Abl1500空气轴承直接驱动线性级测试的性能。当命令级保持位置时,使用积分编码器反馈信号测量位置稳定性。测试了新的和先前的PWM和线性放大器(4个总器件)。
ABL1500级包括1 Vpp放大正弦波编码器,编码器螺距为4 μm。舞台由Aerotech公司的BLMC系列无刷直线电机驱动。舞台被安装在花岗岩上,它坐落在一个被动空气隔离系统上,由一个钢焊件支撑。
图2。Aerotech的ABL1500空气轴承直接驱动线性级。
测试结果
XSP3和XSL3都超越了以前几代Aerotech驱动器的放大器性能。XSP3放大器在测量位置噪声时优于上一代DP32010E放大器。XSP3测量1.5nm的位置噪声,而DP32010E测量4.8nm。一个有趣的说明是前一代线性放大器DL4010,在ABL1500测试中测量了2.8nm的位置噪声。这将Aerotech最新的PWM放大器放大了比上一代线性放大器的近2倍。最终测试是Aerotech的新XSL3线性放大器。该新放大器测量了0.7nm的位于位置噪声,优于DL4010的倍数4。
表1。位置噪声测试结果。粗体线条表示Aerotech的新驱动技术。
放大器 |
在位置噪声 |
XSL3线性放大器 |
0.7 nm. |
XSP3 PWM放大器 |
1.5纳米 |
DL4010线性放大器 |
2.8纳米 |
DP32010e PWM放大器 |
4.5纳米 |
图3。Aerotech的XR3驱动机架的新放大器- XSP3 PWM放大器和XSL3线性放大器。
除了改进的位置读取,与DL4010相比,XSL3还能够消耗6倍的峰值功率。