Tecnotion产品
作为我们u系列的直接兄弟产品,这些真空额定无铁电机具有专门设计的线圈单元和磁铁轭,用于高真空,低至10- 8mbar。
除了我们的常规无铁电机的特点:重量轻和超精密,该系列还能够令人难以置信的平稳运动,并实现该类型系列产品可能的最低的排气量。低排气的重要性对某些应用程序是如此关键,我们已经对此进行了彻底的测试,甚至可以为您提供准确的规格和性能细节,如果您想这样做。
UXXV系列-Fp 4020n fc 666n
UXXV线圈是真空额定直线电机系列中功率最大、效率最高的线圈。UXXV系列是要求超精密和最大力输出的重型应用的理想选择。它的效率和高电机常数允许低热量输出,同时产生一个高的力量。
热管理是真空领域的主要挑战之一。因此,线圈单元被设计成实现低热阻(Rth),以使线圈单元能够迅速地从线圈中传导热量。集成的温度和截止传感器保证热保护在任何时候。
例如,可以从这些电机中受益的主要行业有:
- 半导体
- 平板显示器
- 检查阶段
- 光刻技术
- 电子束/离子束应用
那么为什么选择无铁真空额定呢?
- 定义低出气
- 没有particulation
- 高清洁度
- 不需要大型电缆馈通
- 可放置在真空室的任何地方。