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真空电机

模型:ULV系列

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真空电机的图像

我们U系列的直接兄弟姐妹,这些真空额定的无铁电机特点是设计的线圈单元和磁铁轭,用于高真空,下降至10-8毫巴。

除了常规无铁电机的特点外,较轻的重量和超精度,该系列也能够令人难以置信的运动,实现这种类型的系列产品的排出量最低。低偏差的重要性对于某些应用来说可能是至关重要的,我们有这种彻底测试,甚至可以为您提供完全的规格和性能细节,如果您如此愿意。

ULV系列- FP 720N .. FC 150N

ULV线圈是真空额定直线电机系列中的高端线圈。ULV系列通常用于要求峰值力或低热输出的应用。在较长冲程中,ULV线圈可以组合以节省磁铁材料,但仍能实现高性能。

热管理是真空中的主要挑战之一。因此,线圈单元已经设计成实现低热电阻(RTH)以使线圈单元能够快速地远离线圈传导热量。集成温度和切断传感器始终保证热保护。

例如:可以从这些电机中受益的主要行业:

  • 半导体
  • 平板显示器
  • 检查阶段
  • 光刻
  • 电子束/离子束应用

那么为什么选择无氧真空额定值?

  • 定义低偏用
  • 没有颗粒状
  • 高清洁度
  • 无需大型电缆馈电
  • 可以定位在真空室中的任何位置。

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