洁净室的机器人

电子和半导体行业在精度、速度和性能方面的要求尤其高减少粒子排放．为了满足他们的机器人需求，Stäubli提供了一个超高性能的系列洁净室机械手臂适用于高灵敏度应用。我们的机器人可以操纵用来制造半导体的硅片特殊的准确性，高速和平滑的轨迹。

特性和好处

这种机器人符合ISO 14644-1 class 2/3或FED209E subclass 1标准，具有完全封闭的手臂，具有光滑的聚氨酯表面，具有很高的灵活性。紧凑的手臂足迹有助于节省宝贵的洁净室体积。