无杆线性模块执行器完全组装和测试,并提供高分辨率,最小增量运动。高性能,无齿轮3相线性电机提供出色的动态性能,高速高达5米/秒,高速加速度高达5克,稳定时间短。集成光学线性位置传感器测量到1纳米增量。
应用程序
电子零件组件:传感器,相机和光学组件。非接触式光学检测,X射线检测和AOI(自动化光学检测)。传感器和超声波测试。半导体制造:晶圆加工和检查。激光加工和加工:精密激光焊接。高度动态应用在精密自动化中,需要平滑的扫描运动,最小跟踪误差和短暂的建立时间。
长行程范围(1200毫米),窄型材(宽度为132毫米)
永久负载能力为1000 n
高度动态,免维护的线性电机,速度高达5米/米/秒
长寿的强大工业设计
高精度增量或绝对线性编码器
适用于龙门系统
主动轴 |
X |
X |
X |
X |
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X中的旅行范围 |
400毫米 |
400毫米 |
800毫米 |
800毫米 |
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加速x,卸载 |
50米/平方英尺 |
50米/平方英尺 |
50米/平方英尺 |
50米/平方英尺 |
最大限度。 |
X中的最大速度,卸载 |
5000 mm / s |
5000 mm / s |
5000 mm / s |
5000 mm / s |
|
直线度(在x中的y中线性串扰) |
±12μm |
±12μm |
±20μm. |
±20μm. |
最大限度。 |
平坦度(在X中的线性串扰,x x) |
±10μm |
±10μm |
±10μm |
±10μm |
最大限度。 |
俯仰(θy的旋转串扰,在x中的运动) |
±100μrad. |
±100μrad. |
±150μrad. |
±150μrad. |
最大限度。 |
偏航(θz的旋转串扰,在x中的运动) |
±150μrad. |