高动态线性压电纳米定位阶段

• 直接驱动致动和6300 Hz谐振频率
• 0.02 nm分辨率和0.02％线性，直接计量电容传感器选项
• 闭环行进10μm至40μm
• 开环和真空版本

Aerotech的QNPHD线性压电纳米定位阶段为一个紧凑，高刚度封装中的舞台和致动器的优点提供了一种。具有直接计量，电容式传感器反馈选项，高谐振频率和高负载能力，QNPHD非常适用于各种高速和高精度应用，如扫描探头显微镜，磁盘驱动器测试和半导体晶圆清晰度。

直接驱动的致动设计和优化结构使毫秒响应和移动时间。FEA优化精密柔性可确保高刚度，长器件寿命和高动态，同时保持优异的几何性能（直线度和角度误差），以实现关键的纳米定位应用。

使用独特的电容式传感器设计的可选闭环反馈允许子纳米分辨率和单位数字纳米线性误差。电容传感器测量定位托架的输出直接实现卓越的精度和可重复性。

当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器连接时，QNPHD演示了子纳米定位分辨率和高定位带宽。Aerotech的动态控制工具箱和运动设计器软件包提供了一系列高级但易于使用的工具，如学习控制，谐波取消和指挥整形，提供了改进的跟踪误差和更快的步骤和解决时间。Aerotech的FlashConfig功能会自动识别舞台，所有操作参数，以及上传轴校准数据，可确保安全，准确，真实的“即插即用”操作。

QNPHD可提供后部和侧面电缆出口选择以及水平和垂直方向的安装功能。这种灵活性允许用户在不设计各种适配器板和增加尺寸和设计复杂性的情况下使最佳布置的阶段定向和包装阶段。可应要求提供定制设计和真空准备的版本。