Aerotech,Inc。产品

Hexapod目标中等负载,超精密应用

模型:Hex300-230HL.

Aerotech公司。

六角摄氏靶中等负荷,超精密应用的图像
  • 用线性地定位为60毫米的六维自由度,角度行程到30°,高达45千克的有效载荷
  • 超精密设计,有保证定位精度规格
  • 最小增量运动为20 nm XYZ和0.2 μrad的θxθ z
  • 具有工作和工具坐标系可视化的强大控件和软件

Aerotech的Hexgen™Hexapods代表了六维自由定位性能的显着进展。Hexec系列最新成员Hex300-230HL是针对中负荷的,超精密应用范围从传感器测试到同步rotron样品操纵。Aerotech的Hexgen Hexapods是当今市场上唯一的六角形,可提供低于5μm的保证定位精度规格。

卓越的结构设计

HEX300-230HL由六个高精度支柱致动,采用精密预载轴承,滚珠丝杠和驱动部件。与DC刷伺服电机驱动的竞争性六角峰不同,Hex300-230HL由Aerotech的AC无刷,不道石的伺服电机驱动,最大化其性能和寿命。与使用带状设计的竞争设计相比,直接将AC无刷伺服电机耦合到滚珠丝杠导致滚珠螺杆增加的驱动刚度,更高的定位精度和更好的最小增量运动(在XYZ和0.2μAZ中为0.2μAz)。专业化的支柱枢轴接头提供低摩擦和高刚度,增强了六角形的整体性能。Hex300-230HL的卓越结构设计提供了高达45公斤的宽大负载能力。

设计灵活性

HEX300-230HL的平台和底座可以根据用户特定的特点或安装模式轻松修改。它的特点是平台上有一个直径为100mm的净孔,而底座上有一个直径为60mm的净孔,允许工件从底部进入。底座安装孔直接适应英制和公制光学表。

真空选项

Aerotech Hexapods可以真空制备用于要求Synchrotron样品或光学操作,半导体制造和检查或卫星传感器测试的苛刻应用。

强大的控件和软件

驱动HEX300-230HL的是Aerotech屡获殊荣的A3200运动控制软件。建立在多年的经验与困难的运动学应用,A3200控制器允许容易编程和控制的六脚在任何用户定义的坐标系统。

Aerotech的HexSim™软件为用户提供了轻松可视化和模拟可用工作区的能力。HexSim™和A3200运动控制器之间的紧密集成在任何用户定义的坐标系中提供实时运动可视化。直观的图形界面允许选择有源坐标系,以便于虚拟枢轴点编程和运动。

来自Aerotech公司的其他产品