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每一个千分尺都很重要
发布10/08/2019
每一个千分尺都很重要
每毫米1,000行对的校正目标
由于每一种显微镜都有不同的镜头、屏幕或相机,因此有必要对标准进行比较。为了对这些高精度测量进行校准或机器性能分析,需要适当的刻度盘、刻度盘、测试板或校准板。
常见的美国空军测试目标结束的频率约为。每毫米250条线对,即每条线的分辨率为2µm。此外,市场上的其他天平大多只有几微米的结构宽度。因此,Opto的新校准标准每毫米1000线对(0.5µm)和尖端几何形状为500nm的集成西门子星形校准标准遥遥领先。
图像场畸变误差
特别是在微系统的制造中,对过程控制提出了最高的要求。除了分辨率,失真和绝对长度的校准也是经常需要的关键规格。标定靶包含直径分别为10µm和20µm的点网格,这些点网格是专门为显微镜和工业图像处理而开发的,适用于确定图像场中的畸变误差。这使得图像分析系统可以调整和校正。对比模式也适用于不同尺寸的逆结构。20mm长10µm步长的集成秤是测量仪器校准的最佳方法。在制作过程中,高度重视最大反射和高分辨率侧翼(明暗过渡)。显微镜和图像分析系统的所有光学参数都可以通过一个校准板进行测量和校准。校准板可选择提供DKD证书,以便能够证明根据DIN ISO的测量能力。个人距离或直径是根据认证机构的标准测量和记录的,因此适合证明系统的测量能力。 Mounted on microscope carriers of the standard size of 76x26x4.5mm, they can be easily held and transported and used with common microscopes or measuring instruments.
残留污垢分析的颗粒标准
除了对尺寸精度的要求外,对算法的验证也越来越有要求。例如,残余污垢分析需要纤维的长度。这里的问题是,相机只能在背景上看到一条弯曲的黑线,不幸的是,这条黑线并不总是白色的。那么,软件是如何知道在纤维从开始到结束都没有拉伸的呢?或者当两根纤维相互重叠时。一个结束,另一个开始在哪里?这些简单的例子变得更加复杂和多样化,特别是很难预测的样本。因此,我们制定了一个颗粒标准,在50x50mm的场地上明确定义了颗粒的形状和图案。颗粒目标已经成为这个市场的标准。它可以用来比较不同系统的性能,以及为您自己的设备校准标准。 Both targets are supplied in a protective cover made of precious wood, in which they can be conveniently transported and stored.
作者:Markus Riedi, Opto GmbH首席执行官