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PI是精密运动控制和自动化系统、六足六轴并联机器人工作台、空气轴承运动系统、机架系统、3D打印、激光加工和压电纳米定位解决方案的领先制造商。应用领域包括光子学、半导体技术、医学工程、组装、检验、材料处理和生物纳米技术。40年来,PI一直致力于开发和制造压电陶瓷和电磁驱动的标准和定制精密产品,并为OEM和研究(包括工业运动控制器(ACS))提供创新的高质量解决方案。PI集团在全球三大洲的15家子公司和研发/工程中心拥有1300多名员工。自1994年通过ISO 9001认证。

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行业:
半导体半导体

应用程序:
不适用

用于激光束控制的小型化快速转向镜平台(FSM)是压电式的

发布于2017年9月11日

新型S-335快速转向镜(FSM)平台PI的新型小型操纵台可用于显微镜、半导体制造、光学和光子学。

奥本,马萨诸塞州–PI(Physik Instrumente),压电技术和精密运动系统及解决方案领域的领导者,拓宽了其压电转向镜产品组合。新的S-335快速转向镜(FSM)平台具有毫秒响应和稳定时间以及高动态线性度,非常适合用于精密图像处理和图像稳定、激光束转向、材料处理和光刻。

双轴,无摩擦导向,无偏振旋转
S-335转向镜平台提供了顶部平台围绕两个正交轴的精确角度倾斜运动。这些挠曲引导,电子陶瓷驱动系统可以提供比其他驱动器更高的加速度,使阶跃响应时间在亚毫秒范围内,无摩擦齿隙自由运动。单支点设计还防止了偏振旋转的缺点,这与传统的2轴堆叠系统(例如振镜扫描仪)很常见。

远程集成运动放大器
集成的基于EDM挠曲的运动放大器可提供高达35mrad的业界领先的尖端/倾斜角,相当于70mrad(4°)的光学偏转角。ID芯片支持允许快速启动和倾斜/倾斜平台与控制器之间的简单数据交换。

并联运动学:更小,稳定性、线性度和动态性得到改善
PI压电转向镜是基于共面转动轴和由两对差动执行器驱动的单运动平台的并联运动学设计。优点是无抖动,多轴运动,具有良好的温度稳定性。与叠层(两级)镜面扫描仪相比,并联运动学设计在更小的封装中提供了两轴对称的动态性能,具有更快的响应速度和更好的线性度。

规格、数据表、更多信息>
http://www.pi-usa.us/products/Microscopy_Imaging/Precision_Microscope_Stage.php#S335

标准与习惯
PI拥有超过40年的提供内部精密运动控制解决方案的经验,能够快速修改现有产品设计或提供完全定制的OEM零件,以满足客户应用的确切要求。

关于PI
PI是一家领先的空气轴承工作台、压电解决方案、精密运动控制设备和半导体应用、光子学、生物纳米技术和医疗工程六足并联运动学的制造商。四十年来,PI公司一直致力于开发和制造压电陶瓷和电磁驱动的标准和定制精密产品。公司自1994年起通过ISO9001认证,为OEM和研究提供创新的高质量解决方案。PI集团在全球三大洲的15家子公司和研发/工程中心拥有1000多名员工。