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符合晶圆的最新品质要求 - 高精度边缘检验
发表于01/07/2019.
最先进的技术,为整个生产链提供快速精确的质量控制 - 普遍适用和易于使用
现在,一种新的检测系统允许在整个制造过程中监控晶圆边缘——提高产量并降低成本,因为该系统可以防止加工有缺陷的材料。此外,由于传感器可选择性地与现有工艺工具集成,因此可在每个生产步骤中使用。
如今,晶片的质量往往仅在生产开始时检查。然而,许多处理步骤将材料放在大量的压力下,特别是在边缘,并且经常引起质量问题。前部,背部和晶片边缘的高速表面检查是对此问题的有效解决方案。这是必要的,因为芯片在现代IT和消费电子产品中使用,因此使它们更加脆弱。智能手机等设备正在获得更多功能,但硬件的空间量有限。为了满足同时提高质量要求,早期需要连续检查作为晶圆制造过程。
针对关键流程步骤的自定义部署
ISRA VISION的EdgeScan可作为OEM产品用于整个过程和各种类型的晶圆。它与所有常用工艺工具兼容,也可作为现有机器的改装解决方案。此外,解决方案的连接和结果输出符合半标准。传感器单元可以单独部署,具体取决于过程中部件承受最大应力的位置。在预调整过程中,线扫描相机从三个侧面同时检查晶圆边缘。它的多视图技术(一个棱镜将图像偏转45度)创建了三个视图,使得即使在几秒钟的周期内也可以360度查看组件。
这种检查是新意识的结果,即问题往往从边缘开始。此处的缺陷可能导致裂纹和断裂。EdgeScan现在允许在整个生产过程中监控边缘。ISRA的解决方案补充了使用矩阵摄像机的传统AOI系统,矩阵摄像机的视野有限,只能检查表面,因此可以进行全面检查。
得益于ISRA的解决方案,这种高质量可以在整个制造过程中得到保证。例如,CrackScan在尽可能早的阶段识别微裂纹,并为高质量晶圆和后续芯片奠定基础。SurfQScan甚至可以检测到成品晶圆抛光反射表面上最细的划痕。而DicingScan可以在切割后立即进行检查,从而涵盖之前未充分监控的进一步工艺步骤。ISRA的半导体检测产品组合能够通过最高的质量实现最大的客户满意度。