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ETEL的新Z3TM运动平台提供四次自由
发布03/24/2020
摩托罗拉,- ETEL推出了新的Z3TM,这是一个独立的运动平台,提供了一个四自由度的表面堆叠结构,是压电解决方案的替代方案。它的设计是为了响应半导体行业的先进晶圆定位的需要,同时也可以作为一个独立的产品在各种行业,如医疗,制药和一般检查。
Z3TM平台使用三个弯曲和旋转模块的组合,以向板的板提供旋转式,Z轴和两个倾斜轴动作,该板可以锚固到用于多轴运动解决方案的支撑台。产品紧凑性在每卷的函数数量方面建立了大密度,而其性能设定了用于精度和动态的新的市场标准。
Z3TM允许从压电解决方案的迁移,消除其迟滞问题,同时支持纳米级分辨率,精度和重复性,甚至更高的动力学。用户可以通过映射表格在XY平面以及Z方向上实现更高的导航精度。预编程精度条件,以及外部传感器驱动的实时补偿,可以缩短聚焦时间,从而提高吞吐量,提高拥有成本。
Z3TM源于ETEL的不断创新和垂直整合。特性包括一个无限旋转的theta轴,倾斜/倾斜校正超过±0.08°用于水平和移动和安定改善,径向跳动的±3.5µm和一个免维护的z轴,所有在ISO级2洁净室兼容。
如果需要作为应用开发的一部分,可以进行定制,包括但不限于,更高的IP额定值,扩展额定载荷,增加气动执行器用于提升销环或类似机构,以及额外的真空和信号线。
关于Etel.
ETEL S.A.总部位于瑞士,通过HEIDENHAIN公司在伊利诺伊州Schaumburg的北美独家分销。作为直接驱动和运动控制组件和集成系统的领先国际供应商,ETEL支持高科技行业的直线电机、扭矩电机、定位台、和运动控制器/系统。