ETEL的新型VULCANO2运动系统提供了无与伦比的半导体制造性能

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加利福尼亚州圣何塞- HEIDENHAIN集团ETEL最新的VULCANO2运动系统为半导体制造提供高吞吐量的重载荷。凭借其龙门堆叠轴结构和ETEL著名的铁芯线性电机加上HEIDENHAIN的光学编码器，紧凑的VULCANO2提供了无与伦比的纳米级位置稳定性性能。

VULCANO2是一种直接驱动系统，适用于前端和后端半导体应用，需要移动高达80kg的重型有效载荷。即使是同类中最好的紧身型，也能最大限度地提高其整体拥有成本价值主张。

VULCANO2的关键规格包括±250nm的双向重复性在25m/s2加速度，最大速度1.2m/s，和80mm移动和稳定到一个±100nm窗口在最大170ms。

VULCANO2的下轴龙门设计确保了卓越的重复性，而全铁芯电机解决方案提供了更高的动态性能。选用了花岗岩底座，以提高刀具点的运动平整度，同时最大限度地减少在高负载周期下操作时的精度损失。该方案还允许动态电缆布线通过花岗岩，从而形成一个非常紧凑的解决方案，最大限度地提高动态性能和体积之间的比例。运动级采用XY和XYT配置，由于其占地面积小，可以更容易地将解决方案引入设备，而之前使用的是较低的动态级。

VULCANO2的可能应用包括晶圆过程控制，如覆盖计量，关键尺寸/薄膜计量，以及在大面板/基片上制作的后端倒装芯片过程等等。

ETEL S.A.总部设在瑞士，并通过位于伊利诺伊州绍姆堡和加利福尼亚州圣何塞的HEIDENHAIN公司(www.heidenhain.us)独家销售北美地区。作为直接驱动和运动控制组件和集成系统的国际领先供应商，ETEL为高科技行业提供直线电机、力矩电机、定位工作台和运动控制器/系统。