ETEL的新型高精度DXRH旋转系统简化了半/电子设备的运动

随着新的高精度DXR的推出^H旋转轴系统，ETEL再次提供参与开发和使用高度精确的半导体/电子机器的产品，这是一个新的和更好的Theta轴选项，作为独立或系统集成的解决方案。

Etel的新DXR^H从母公司Heidenhain采用一流的编码器（360,000线）和轴承技术，以及Etel的牙齿（无铁），零扭矩纹波直接驱动技术，可用于高速稳定性。由于其无与伦比的机械特性由于Heidenhain的组件和Etel的直接驱动电机技术的组合，因此与没有相关复杂性的空气溶液相当。

DXR.^H是为了响应半导体行业的需求而设计的，特别适合于晶圆过程控制应用，如覆盖计量，关键尺寸和薄膜计量。它也非常适合光电子应用，无论是作为ETEL已经先进的CHARON2和VULCANO2平台的扩展，或集成到其他系统。

DXR.^H提供高精度为±3弧度，无需校准，位置稳定性为±2.5 marcsec，双向重复性为±0.25弧形，径向跳动为±1μm。该模块是ISO类1洁净室兼容。

Etel S.A.是基于瑞士，通过海德汉堡，IL的Heidenhain Corporation独家北美分销（www.heidenhain.us）。作为直接驱动和运动控制部件和集成系统的领先国际供应商，Etel支持高科技行业，具有线性电机，扭矩电机，定位阶段和运动控制器/系统。