用于运动纳米管理的尖端真空系统

纳米运动管理在整个行业中变得越来越普遍，因为技术解决方案的公差越来越小。这一趋势在许多定位敏感的行业中普遍存在，如光纤、生物医学、微型机械、电子、半导体、能源、光学、航空航天和同步加速器。

ALIO Industries是全球纳米精密真空舞台和机器人系统的领导者。该公司的广泛范围的超精密和可重复的运动控制解决方案(除了其空气轴承系统)是真空兼容的。线性，旋转，开式中心X-Y，六脚，三脚和角度测量级和系统可在HV (10-7 TORR)或UHV (10-10 TORR)超低排气材料和组件都精心准备和烘烤。

纳米定位技术的应用非常严格，而且在真空状态下进行运动管理，或者需要更长的行程、更精细的重复性、更高的速度、更长的正常运行时间，当然还有更低的成本时，应用会更加复杂。驱动机构、轴承、反馈系统、运动控制器和运动结构都需要完美设计，以满足大气或真空环境中的纳米精度。

材料的选择。当创建一个纳米级真空运动系统时，第一个设计决定是轴承和结构使用的材料。真空运动系统通常由裸6061铝或300或400系列不锈钢。由于真空中的大多数精密轴承由400不锈钢制成，当热变化是应用或实验的特点时，建议使用300或400不锈钢的运动系统。这允许轴承和结构以相同的速度偏离，这意味着轴承可以保持预紧力。

精密轴承。适用于真空应用的机械轴承范围从循环球轨，线性球轴承，陶瓷线性球轴承，和交叉滚子轴承。为了始终达到纳米级精度，ALIO提倡使用交叉滚子轴承。重要的是使用最高等级的轴承以确保精度。质量更好的轴承有尺寸匹配的滚子，允许更平滑的运动，更少的摩擦，更小的直线偏差沿路径。

位置反馈。真空室的位置反馈系统有特殊的设计，以确保性能和不排气。ALIO使用光学编码器读取磁带或玻璃刻度，或当需要更精确的读数时，直接读取刻蚀在不锈钢环上的刻度(用于旋转应用)，invar刻度允许使用干涉仪校准，具有重复性和准确性，接近激光精度。将天平放置在因瓦上，大大降低了影响其他天平精度的热效应。ALIO还使用激光干涉仪提供分辨率到38皮米，在合适的机械系统上提供定位稳定性到亚纳米级。

驱动机制。对于真空运动控制应用，ALIO使用压电驱动工作台和线性和旋转伺服电机。陶瓷伺服电机的独特之处在于其作为一个螺旋摩擦电机的运动，允许无限的旅行，没有机械迟滞，同时保持纳米精度。伺服电机更健壮，具有更高的力和更高的占空比，但目前仅限于10-7驱动电机没有驱动惯性和迟滞。这些压电电机阶段非常适合超高真空环境(10-10 TORR)由于材料的有限的排气。

润滑。ALIO使用一系列从湿到干的真空兼容润滑剂。最常用的是Krytox，用于机械轴承和螺杆系统。这种粘性润滑剂工作良好，但必须小心使用，否则会导致轴承打滑和粘住。ALIO根据应用和客户偏好使用不同的Krytox配方。采用薄膜形式的干润滑剂易于应用，并提供低摩擦和平滑的运动。用于特高压的干润滑剂有很多，但ALIO在二硫化钼和二硫化钨两种类型上取得了巨大的成功。

运动结构。连续运动学适合单身,两个,三个,四个轴系统,但这些轴的设计和加工是至关重要的,减少错误,如正弦/余弦和正交堆叠时,和必须解决潜在的热偏差造成的电机,并叠加轴的方式增加运动的力量。当五轴以上需要极高精度时，并联运动解是最佳选择。在并行运动解中，误差商是不相加的，从而减少了对串联运动正弦/余弦和正交误差商的关注。与串行运动学相比，平行运动学在腔室中通常占用较少的宝贵空间。具有正运动学和逆运动学的六脚具有速度和路径运动，可以增强运动轮廓，而串行运动学可能无法处理与级叠加相关的亚微米误差。

纳米精度的运动系统有许多关键组件，必须很好地工作在一起，纳米精度，当你把这些组件在一个特高压室，这些组件需要仔细地重新设计，以确保散热，排气，和精密运动。

ALIO邀请任何对纳米级真空运动控制解决方案感兴趣的公司与该公司联系，并与专家合作，共同开发定制的成本敏感系统。

关于Alio行业
ALIO是一家专业的创新公司，生产一流的“美国制造”运动控制技术，并通过建立在诚实、正直、可靠和信任上的声誉，取得了无可争议的市场领导地位和卓越地位，再加上执着的专注和激情，为客户提供突破性的高品质运动控制解决方案。该公司与需要最好的客户合作，并拥有无可比拟的专业水平和丰富的经验，在工程领域创新的先锋18年，对质量和可靠性的敏锐关注是至关重要的。