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自定义运动控制系统的严格的应用
发布10/23/2019
美国亚太地田-近20年来,ALIO Industries一直致力于纳米级运动控制的前沿。该公司已经为超精密和可重复的运动控制解决方案设置了标准,包括Hybrid Hexapod®,它具有小于100 nm的3维6轴点精度®重复性,使其成为激光加工、光学检测、光电子、半导体等关键应用任务的关键技术。计量,医疗设备部门,以及所有的微加工项目。
但是,公司是公司真正定制其核心运动控制解决方案的能力,该解决方案将其与替代解决方案提供商分开,通过完全匹配OEM客户的需求,提供了重大的价值,并推动了新的世界纳米精密应用。Alio对超出OEM要求的持续专注有助于客户成为各自行业领域的领导者。
由于公司第一次成功提供复杂原型的长路录制,客户对独特应用程序进行独特应用程序。
该公司对诚实和诚信的坚定关注帮助客户了解精密应用的复杂性质。Alio通知客户所需的了解,而不仅仅是他们想要的听到。
激光Gimbal®五轴定位工作站。ALIO的激光万向节®五轴定位工作站是世界上唯一的5维矢量路径激光触发定位系统。该系统为工程师和制造商提供了一种新颖的解决方案,这些工程师和制造商在尖端材料上使用添加和减去激光加工技术,以生产各种下一代产品。
添加剂制造 - 电话天线直接印刷。ALIO能够使用其新颖的正、逆运动学算法进行可编程路径和轮廓控制。这种Hybrid Hexapod®工作在100mm/秒的3D路径速度,并能够微米级路径精度。在这个Hybrid Hexapod®系统中,喷嘴与表面的距离保持在5微米以内,设计用于全天候生产环境。
光学相机模块组装/测试。Alio的Mini HybridHexapod®非常适用于自动镜头对准/粘合到CCD阵列。它有助于构建相机阵列模块,转换OIS,用于每天使用的微型相机,如手机相机和无人机等产品中使用的微型摄像机。任何需要6度自由定位的纳米/弧子 - 秒的增量运动和重复性的应用是良好的适用于本产品,其中产品传感器分辨率改进是需要更高精度的需求。
传感器计量。ALIO拥有为许多世界上最大的计量公司提供内部测量系统的经验。公司甚至可以为最精确的目标提供解决方案。
用于晶圆计量的Hybrid Hexapod®。ALIO提供了用于晶圆测量的5轴、开放框架Hybrid Hexapod®设计。它的精度来自精密的交叉滚子轴承,集成无框直流伺服电机驱动滚珠丝杠。它有一个立方旅行范围350mm“X”X 350mm“Y”X 75mm“Z”和倾斜旅行±2度。ALIO能够提供±0.1微米的双向XYZ重复性。
晶圆计量低调XY-THETA,具有大开口孔径。ALIO的真空专业技术和广泛的级联选择,使其有机会耦合四个HV (10-7 Torr)级联,提供纳米精度®解决方案。这个R-XY-Z堆栈再次使用基于纯线性的Z解决方案,而不是传统的Z楔设计。
用途:光纤/光学组件(专用标签)。Alio的计量级XY阶段是出色的三轴对准平台的基础。Alio的Z轴独特的设计提供了一种完全线性的垂直解决方案,靠近空气轴承性能。具有高力线性电机,线性编码器,线性高精度交叉滚子轴承和集成线性空气平衡的Z级超过市场上的任何机械垂直轴以及一些空气轴承选项。这种独特的解决方案的一个主要优势允许客户的有效载荷直接与电机,编码器,轴承直接安装在舞台的顶部,并使逆向抵消,从而最大限度地减少悬垂括号,大大减少潜在的ABBÉ误差。Alio的线性Z轴是比旧学校Z楔解决方案更精确的5倍级。
应用:纳米计量。ALIO已将其行业领先的接近空气轴承性能的开放式中心计量阶段提升到下一个水平。该交叉滚子轴承300mm XY纳米计量平台是DC伺服直线电机驱动的300mm开放中心,具有无与伦比的3-Sigma, 6-D(直线,直线度,平直度,俯仰,偏转和滚动)和双向重复性小于+/- 250nm的运动性能。换句话说,任何XY点的体积双向重复性都在500nm或更小的球体内。