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超越限制Elmo Motion Control的驾驶机是创新运动控制技术的领先制造商,拥有超过30年的经验以及全球运营的数百万伺服驱动器。Elmo的驱动器,控制器和集成电机设计,重点是性能,效率,可靠性,安全性和简单性。ELMO还生产用于恶劣环境的产品,可以在极端的环境条件下运行,温度范围为-40°C至70°C,高度高达40,000英尺,机械冲击或强烈的振动。该公司总部位于以色列,在全球300多人雇用300多人,并在英国,美国,德国,意大利,瑞士,波兰,中国,韩国和新加坡中拥有专门的业务。

内容提交:

工业:
半导体半导体

应用:
N / A.

快速解决伺服驱动速度测试

发布05/01/2018

半导体制造需要使用高复杂和昂贵的设备需要复杂的耗时步骤序列。微电子行业可以以合理定价提供大规模计算能力的原因是由于批量加工 - 在晶圆上同时制造数百个相同芯片的能力。然而,如果这些筹码是运行的,则批量处理的经济性仅占。因此,组件测试对于支持流程控制,质量保证和甚至标准合规是必不可少的。

测试从图案化的晶片开始,以识别任何糟糕的芯片,然后经过昂贵的包装步骤。使用只需毫米的单个设备,测试设备需要精确,可重复,最重要的,准确。测试系统还需要具有最小的占地面积,因为半导体FAB中的空间总是处于溢价。最后,测试过程需要足够快,以跟上微型光刻机的输出。当半导体测试设备制造商Proaut Technology GmbH开始升级其PMA晶圆测试系列时,目标是每小时达到40,000个组件。公司符合ELMO运动控制的高性能,高效伺服驱动器的目标。

最小化建立时间
在PMA开始测量之前,需要将晶圆片或面板安装在测试箱中。PMA处理系统使用真空吸盘将组件载体从旁边的容器中取出,并将载体放置在旋转定位台上。实际测量系统由工作台、提供晶圆位置反馈的视觉系统和获取实际测试数据的光学和电子测量头组成。

该阶段能够在X,Y和Z中纳米级定位,并将PHI(φ)定位为程度的一小部分。相机可以沿Z轴定位为自动对焦。在测量过程中,系统顺序地测试图案化晶片的部分,进行测量,然后推进并对准晶片以放置在测量提示下方的下一个区域。

快速移动和稳定定位的挑战是惯性可能导致负载超调并围绕指令位置振荡(考虑到高加速度和小增量)。这有引入测量误差或减慢测量过程的影响。最初的PMA设计能够达到惊人的每小时30,000个组件的吞吐量。为了实现每小时4万个组件的目标,Proaut工程团队需要一种方法来提高现有机制的性能。他们在Elmo Gold Whistle家族的伺服驱动器里找到的。

Gold Whistle驱动器具有一个通过配置文件状态进行增益调度的功能。在增益调度中,一种算法使系统能够定义独立的控制器参数集-比例增益(KP),积分增益(KI),高阶滤波器链路等-以优化系统的性能为每个不同的应用条件。在运行过程中,驱动器可以根据伺服驱动器的工作点自动从一组控制器参数转换为另一组控制器参数。滤波有助于平滑改变控制器参数的影响,导致更快的稳定。

高效和紧凑
金口哨伺服驱动器带来了其他优点。该应用程序涉及高度协调的动作。晶圆处理轴需要与定位级坐标;定位级的PHI(φ)轴必须与X,Y和Z中的定位紧密联接。这种类型的运动控制需要高速,精确的现场总线连接。金色哨声驱动器可提供以太网或CANopen。超快循环时间和最小抖动支持一流的实时性能。

要实现这种级别的协调,需要使用一个主控制器来管理各个轴的驱动器操作的集中控制体系结构。控制器和驱动器安装在集中柜中。这种方法简化了连接和集成,但也存在风险。将6个驱动器封装在一个小的封闭空间中也会捕获热量,这些热量可能会积聚到足以降低性能,并导致电子设备的早期故障。在半导体行业,每小时宕机的成本高达数十万美元,因此团队需要避免这个问题。Gold Whistle驱动器的工作效率优于99%,这将需要消散的热量降至最低。

除了效率外,驱动器也是一个很好的合适。它们的小尺寸使得能够使用较小的机柜,最大限度地减少机器占地面积。“PMA机器非常紧凑,内置小型开关柜,”Proaut Technology GmbH的常务总监Thiol Wicht说。“金口哨伺服驱动器的”迷你“大小对我们最新的技术机器非常有利。”

黄金哨子驱动器功能inboard智力。这支持内置安全功能,如安全扭矩关闭(STO,SIL-3,IEC 61800-5-2)。STO使得驱动器能够在从轴上移除扭矩的同时保持通电。组合加快重启,同时确保操作员,设备和产品的安全性。最后,ELMO应用程序工作室(EAS)为伺服驱动器和电机提供了统一的软件环境,可以轻松调整系统以更改产品或过程。

通过通过增益调度技术实现的超快速沉降时间,Elmo的黄金哨声驱动已启用PROAUT将其最新一代半导体测试平台的吞吐量提高30%。紧凑的外形和99%的效率驱动器支持紧凑的形状因子中的高可靠性解决方案。PROAUT工程团队似乎对性能充满满意。“ELMO运动控制的伺服控制器完全符合我们申请的所有标准,”沃尔什先生说:“它们被粗犷构建并预定用于我们的精密测量机器。”

联系Elmo以了解我们的高性能伺服驱动器可以为您的下一个项目做些什么。

关于ELMO运动控制
Elmo运动控制(Elmo)设计、生产和实施全面的、经过现场验证的运动控制解决方案,使客户的数据驱动的智能机器更加智能。该公司的研发部门将智能运动控制技术、实时编程和控制算法与先进的数字硬件相结合,以实现更精简、更灵活的机器。由Elmo应用程序工作室(EAS)控制-一个软件环境,减少集成时间和维护成本- Elmo的伺服驱动器和多轴运动控制器最大限度地减少机器的占地面积和电缆,提高吞吐量,并给原始设备制造商(oem)一个竞争优势。公司成立于1988年,总部位于以色列,在全球拥有300多名员工,并在美国、中国、德国、意大利、韩国、波兰和英国设有分支机构。欲了解更多信息,请访问www.elmomc.com。